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合肥芯碁微电子装备股份有限公司合肥芯碁微电子装备股份有限公司（简称“芯碁微装”），成立于2015年6月，位于合肥市高新区集成电路产业基地，是一家拥有完全自主知识产权的、专业致力于半导体无掩模光刻设备、高端PCB专用激光直写成像设备（LDI）、显示领域OLED直写光刻设备的研发和生产高科
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